+7 (3822) 701397

Лаборатория вакуумных технологий

Отделение технологии обработки кристаллов обеспечивает следующие операции:

  • вакуумное нанесение металлических пленочных контактных покрытий на установках магнетронного распыления;
  • вакуумное нанесение тонкопленочных диэлектрических просветляющих покрытий на установках ионно-лучевого и терморезистивного распыления.

 

Вакуумные установки для нанесения металлических пленочных контактных покрытий и тонкопленочных диэлектрических просветляющих покрытий.

Характеристики просветляющих покрытий: